Development of non-destructive bulk micro-defect analyzer for Si wafers
Development of non-destructive bulk micro-defect analyzer for Si wafers
复制标题
硅片无损体微缺陷分析仪的研制
DOI：
10.1016/0022-0248(93)90338-w
复制
发表时间：
1993
影响因子：
1.8
通讯作者：
K. Hirai
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
K. Moriya;H. Wada;K. Hirai
