Pulsed Green Laser Anneling Crystallization of Double-Layered Silicon Thin Films
Pulsed Green Laser Anneling Crystallization of Double-Layered Silicon Thin Films
复制标题
双层硅薄膜的脉冲绿光激光退火结晶
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Fuyuki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Sugawara;H. Yano;T;Hatayama;Y. Uraoka;T. Fuyuki
