3D Interconnection by Directed Self-Assembly (DSA) with Metal/Block-Copolymer Nanocomposites

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通过定向自组装 (DSA) 与金属/嵌段共聚物纳米复合材料进行 3D 互连

DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Takafumi Fukushima
Takafumi Fukushima
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Daohong Wang;Yasuhumi Hisai;Haitao Huang;Ting Wu;and Nobuyuki Takagi;岩田陽祐,野口敏彦;Takafumi Fukushima

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