S.Takami: "Monolayer Nitridation of Silicon Surface and its Effects on Tungsten Chemical Vapor Deposition" Advanced Metallization and Interconnect Systems for ULSI Applications in 1995. (1996)
S.Takami: "Monolayer Nitridation of Silicon Surface and its Effects on Tungsten Chemical Vapor Deposition" Advanced Metallization and Interconnect Systems for ULSI Applications in 1995. (1996)
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S.Takami：“硅表面的单层氮化及其对钨化学气相沉积的影响”，1995 年用于 ULSI 应用的先进金属化和互连系统。(1996)
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