Easy-to-use detection method for micro-arc discharge in plasma etching equipment by measuring current flowing to ground
Easy-to-use detection method for micro-arc discharge in plasma etching equipment by measuring current flowing to ground
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通过测量流向地面的电流来检测等离子蚀刻设备中微弧放电的简便方法
DOI：
10.7567/jjap.57.098002
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发表时间：
2018
影响因子：
1.5
通讯作者：
Kasashima Yuji
中科院分区：
文献类型：
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作者：
阿部亮介;宮本定明;遠藤靖典;竹下潤一;Kasashima Yuji
