光ファイバを用いたナノCMMプローブの研究(第9報)-平面形状の検出-
光ファイバを用いたナノCMMプローブの研究(第9報)-平面形状の検出-
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使用光纤的纳米CMM探针研究（第9次报告）-平面形状的检测-
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
林照剛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
嚴祥仁;高谷裕浩;林照剛
