抛光垫特性对氧化镓CMP影响的实验研究
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DOI：
10.16567/j.cnki.1000-7008.2018.06.015
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
王晨宇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
龚凯;周海;韦嘉辉;宋放;王晨宇
