A.Morimoto, H.Tanimura, H.Yang, S.Ohtsubo1), M.Kumeda, X.Chen: "Platinum film patterning by laser lift-off using hydrocarbon film on insulating substrates"Applied Physics A, Materials Science & Processing. (in press). (2004)
A.Morimoto, H.Tanimura, H.Yang, S.Ohtsubo1), M.Kumeda, X.Chen: "Platinum film patterning by laser lift-off using hydrocarbon film on insulating substrates"Applied Physics A, Materials Science & Processing. (in press). (2004)
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A.Morimoto、H.Tanimura、H.Yang、S.Ohtsubo1)、M.Kumeda、X.Chen:“在绝缘基板上使用碳氢化合物膜通过激光剥离进行铂膜图案化”应用物理 A,材料科学
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