m面サファイア基板上スパッタアニールAlNの面方位制御
m面サファイア基板上スパッタアニールAlNの面方位制御
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m面蓝宝石衬底上溅射退火AlN的面取向控制
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
上杉 謙次郎,張 芸賢,正直 花奈子,肖 世玉,三宅 秀人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
竹尾敦志;市川修平;舘林潤;藤原康文;上杉 謙次郎,張 芸賢,正直 花奈子,肖 世玉,三宅 秀人
