Inflow angular dependence of the capture coefficient in cryopumps
Inflow angular dependence of the capture coefficient in cryopumps
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低温泵中捕获系数的流入角度依赖性
DOI：
10.1016/j.vacuum.2018.11.013
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
4
通讯作者：
H. Koizumi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
G. Ito;R. Kawashima;K. Komurasaki;H. Koizumi
