MBE法により成長させたScN薄膜へのプラズマ照射の影響

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等离子体辐照对MBE法生长ScN薄膜的影响

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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
大橋 直樹
大橋 直樹
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
大垣 武;坂口 勲;大橋 直樹

文献摘要

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