Space Charge Balance Sensing for Static Control
Space Charge Balance Sensing for Static Control
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用于静电控制的空间电荷平衡传感
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
寺重隆視
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kitamura;M;佐藤信輔・津田清・湯川淳一;寺重隆視;Manabu Sumida;寺重隆視;加藤内藏進・加藤晴子・別役昭夫;小川治雄(分担著);寺重隆視;加藤内藏進;寺重隆視
