LIGA process – micromachining technique using synchrotron radiation lithography – and some industrial applications
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DOI：
10.1016/s0168-583x(03)00632-3
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发表时间：
2003-08
影响因子：
1.3
通讯作者：
Y. Hirata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Hirata
