High-Rigidity Multi-Degrees-of-Freedom Fine Motion Mechanism using Piezoelectric Actuators (3rd Report)
High-Rigidity Multi-Degrees-of-Freedom Fine Motion Mechanism using Piezoelectric Actuators (3rd Report)
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使用压电致动器的高刚性多自由度精细运动机构（第三次报告）
DOI：
10.2493/jjspe.62.1302
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发表时间：
1996
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Isobe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Kyusojin;Yosiaki Yamamoto;H. Isobe
