M.Niwano et al.: "UV-Induced Deposition of SiO_2 Film from TEOS Spin-Coated on Si" Journal of the Electrochemistry Society. (印刷中). (1994)
M.Niwano et al.: "UV-Induced Deposition of SiO_2 Film from TEOS Spin-Coated on Si" Journal of the Electrochemistry Society. (印刷中). (1994)
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M. Niwano 等人:“在硅上旋涂 TEOS 的 UV-Induced Deposition of SiO_2 Film”(电化学学会杂志)(1994 年出版)。
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