Synthesis and anti-corrosion behavior of SiC and SiNx films by liquid injection PECVD.

Synthesis and anti-corrosion behavior of SiC and SiNx films by liquid injection PECVD.
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液体喷射PECVD合成SiC和SiNx薄膜及其耐腐蚀行为。

DOI：
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发表时间：
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期刊：
Thin Solid Films (in press)
影响因子：
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通讯作者：
S.Shimada
S.Shimada
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Y.S.Li;S.Shimada

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