MEMS触覚センサにおける弾性樹脂中カンチレバー挙動の分析
MEMS触覚センサにおける弾性樹脂中カンチレバー挙動の分析
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MEMS 触觉传感器中弹性树脂悬臂梁行为分析
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
寒川 雅之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木藤 潤;安部 隆;寒川 雅之
