宇佐美, 松村: "Liquid Phase Deposition fo Silicon OXide" Jpn J.Appl.Phys.37.1. L97-L99 (1998)
宇佐美, 松村: "Liquid Phase Deposition fo Silicon OXide" Jpn J.Appl.Phys.37.1. L97-L99 (1998)
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Usami, Matsumura：“氧化硅的液相沉积”Jpn J.Appl.Phys.37.1 (1998)。
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