(111)面に配向したTiN膜の摩耗特性評価
(111)面に配向したTiN膜の摩耗特性評価
复制标题
(111)面取向TiN薄膜磨损特性评价
DOI：
--
复制
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
春山義夫
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
加藤大貴;春山義夫;石井淳哉;河村新吾;堀川教世;岩井善郎;岩坪聡;春山義夫;春山義夫
