Spatial Distribution of Surface Potential and Discharge Power in Piezoelectric Transformer-Based Plasma Reactor

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基于压电变压器的等离子体反应器表面电势和放电功率的空间分布

DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
Proceedings of the 20th European Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases CD-rom
影响因子：
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通讯作者：
Haruo Itoh
Haruo Itoh
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Kenji Teranishi;Saitoh Shorn;Naoyuki Shimomura;Haruo Itoh

文献摘要

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