Micromachined Thin-Film Mirror Array for Reflective Light Modulation

Micromachined Thin-Film Mirror Array for Reflective Light Modulation
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用于反射光调制的微机械薄膜反射镜阵列

DOI:
10.1016/s0007-8506(07)60864-6
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发表时间:
1997
期刊:
CIRP Annals
影响因子:
--
通讯作者:
Jung
Jung
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Sang;Kyu‐Ho Hwang;Y. Choi;Y. Min;Jung

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