米村 茂: "酸素/アルゴン系高周波マグネトロン放電におけるイオンの奇妙な振舞い"日本機械学会2001年度年次大会講演論文集(V). 01-1. 249-250 (2001)

米村 茂: "酸素/アルゴン系高周波マグネトロン放電におけるイオンの奇妙な振舞い"日本機械学会2001年度年次大会講演論文集(V). 01-1. 249-250 (2001)
复制标题

Shigeru Yonemura:“氧/氩系统高频磁控管放电中离子的奇怪行为”日本机械工程学会2001年年会论文集(V)01-1(2001)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献