AlN/SiCN複合膜の機械的性質と構造に及ぼす熱処理の影響
AlN/SiCN複合膜の機械的性質と構造に及ぼす熱処理の影響
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热处理对AlN/SiCN复合薄膜力学性能和结构的影响
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
長江和樹, 中伏裕太，松田健二，野瀬正照
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長江和樹;松田健二;野瀬正照;長江和樹, 中伏裕太，松田健二，野瀬正照;長江和樹, 中伏裕太，松田健二，野瀬正照
