干渉顕微鏡観察下の粗面の垂直変位測定
干渉顕微鏡観察下の粗面の垂直変位測定
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干涉显微镜下粗糙表面垂直位移测量
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
岩尾
中科院分区:
文献类型:
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作者:
安達;河村;岩尾