圧電素子駆動型形状可変ミラーを用いたX線sub-5 nm集光システムの開発（第２報） 差分成膜を組み合わせたハイブリッド波面修正
圧電素子駆動型形状可変ミラーを用いたX線sub-5 nm集光システムの開発（第２報） 差分成膜を組み合わせたハイブリッド波面修正
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使用压电元件驱动可变形镜开发 X 射线亚 5 nm 聚焦系统（第二份报告） 混合波前修改结合微分薄膜沉积
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
井上陽登，松山智至，田中優人，二村浩平，一井愛雄，山田純平，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
酒井大輝;山川貴士;大瀧貴史;高橋幸裕;宮本辰也;岡本博;井上陽登，松山智至，田中優人，二村浩平，一井愛雄，山田純平，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
