堀池靖浩: "高密度プラズマによるエッチングプロセス" 精密工学会誌. 60. 1565-1570 (1994)
堀池靖浩: "高密度プラズマによるエッチングプロセス" 精密工学会誌. 60. 1565-1570 (1994)
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Yasuhiro Horiike：“使用高密度等离子体的蚀刻工艺”日本精密工程学会杂志 60. 1565-1570 (1994)。
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