プロトンビーム描画による波長1.5μm帯用PMMA導波路の試作(II)

プロトンビーム描画による波長1.5μm帯用PMMA導波路の試作(II)
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使用质子束写入的 1.5 μm 波长带 PMMA 波导的原型制作(II)

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发表时间:
2010
期刊:
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三浦健太
三浦健太
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
三浦健太

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