Multislice observation of integrated circuits by X-ray ptychography
Multislice observation of integrated circuits by X-ray ptychography
复制标题
X射线叠层摄影法对集成电路的多层观察
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yukio Takahashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kei Shimomura;Makoto Hirose;Takaya Higashino;Yukio Takahashi
