Study on theInfluence of pH on MRR Based on Acidic Slurry in CMP of 304 Stainless Steel
Study on theInfluence of pH on MRR Based on Acidic Slurry in CMP of 304 Stainless Steel
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基于酸性浆料的304不锈钢CMP中pH值对MRR的影响研究
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Fu Sufang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Su Jianxiu;Yao Jianguo Wang Zhankui Ma Lijie;Fu Sufang
