合成石英内部におけるプラズマチャネル形成過程のパルス幅依存性評価
合成石英内部におけるプラズマチャネル形成過程のパルス幅依存性評価
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合成石英内部等离子体通道形成过程的脉冲宽度依赖性评估
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
杉田直彦
中科院分区:
文献类型:
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作者:
小池匠;伊藤佑介;吉﨑れいな;任国旗;杉田直彦