Pattern-Size-Free Planarization for Multilayered Large-Scale SFQ Circuits
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复制标题
多层大规模 SFQ 电路的无图案尺寸平坦化
DOI：
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发表时间：
2003
影响因子：
0.5
通讯作者：
M. Hidaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Hinode;S. Nagasawa;M. Sugita;T. Satoh;H. Akaike;Y. Kitagawa;M. Hidaka
