E.Kusano et.al.: "Vanadium Reactive Magnetron Sputtering in Mixed Ar/O_2 Discharge" Thin Solid Films. 298. 122-129 (1997)
E.Kusano et.al.: "Vanadium Reactive Magnetron Sputtering in Mixed Ar/O_2 Discharge" Thin Solid Films. 298. 122-129 (1997)
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E.Kusano 等人:“混合 Ar/O_2 放电中的钒反应磁控溅射”固体薄膜。
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