光硬化樹脂薄膜のナノスケールでの不均一な表面弾性率とエッチング耐性
光硬化樹脂薄膜のナノスケールでの不均一な表面弾性率とエッチング耐性
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光固化树脂薄膜的纳米级非均匀表面弹性模量及耐蚀刻性能
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中嶋健
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久保祥一;矢野春菜;上原卓也;中川勝;廣芝信哉;梁暁斌;藤波想;中嶋健
