Fabrication and integration of a Si-PZT hybrid XY-microstage
Fabrication and integration of a Si-PZT hybrid XY-microstage
复制标题
Si-PZT 混合 XY 微型平台的制造和集成
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Faizul
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shinya Yoshida;Takahito Ono;Masayoshi Esashi;Shinya Yoshida;Yusuke Kawai;M. Faizul;M. Faizul
