可変忘却要素を用いた適応同定法による超精密ステージの摩擦補償法
可変忘却要素を用いた適応同定法による超精密ステージの摩擦補償法
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采用可变遗忘元件自适应辨识方法的超精密工作台摩擦补偿方法
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
橋本
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Goka;S. Hashimoto;K. Ohishi;T. Ishikawa;S. Adachi;K. Kosaka;H. Kubota and T. Ohmi;橋本 誠司;Sigeki Goka;木暮 雅之;橋本;橋本;橋本;橋本;S. Hashimoto;Masayuki Kigure;橋本
