超臨界流体蒸着法を用いた銅基板へのコバルト薄膜の蒸着
超臨界流体蒸着法を用いた銅基板へのコバルト薄膜の蒸着
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超临界流体沉积法在铜基体上沉积钴薄膜
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
滝嶌繁樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
二宮行平;森岡美帆;春木将司;木原伸一;滝嶌繁樹
