X.-S. Li, T. Tanaka, Y. Suzuki: "Lead zirconate titanate (PZT) thin film deposition in facing target sputtering"J. Vac. Soc. Jpn.. 42,No.3. 257-260 (1999)
X.-S. Li, T. Tanaka, Y. Suzuki: "Lead zirconate titanate (PZT) thin film deposition in facing target sputtering"J. Vac. Soc. Jpn.. 42,No.3. 257-260 (1999)
复制标题
X.-S。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
