Improved Resist Film Quality Prepared by Spray Coating for 3D-MEMS
Improved Resist Film Quality Prepared by Spray Coating for 3D-MEMS
复制标题
通过喷涂制备 3D-MEMS 提高抗蚀剂膜质量
DOI：
--
复制
发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
H.Hayahi
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
V.Singh;M.Sasaki;K.Hane;Y.Watanabe;M.Kawakita;H.Hayahi
