Pt 電極上に堆積した(Hf,Zr)O2 薄膜の強誘電特性
Pt 電極上に堆積した(Hf,Zr)O2 薄膜の強誘電特性
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Pt电极上沉积的(Hf,Zr)O2薄膜的铁电性能
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
舟窪 浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
清水荘雄;横内達彦;白石貴久;及川貴弘;舟窪 浩
