窒素分圧制御によるAl/AlN多層薄膜の作製
窒素分圧制御によるAl/AlN多層薄膜の作製
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氮分压控制制备Al/AlN多层薄膜
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中村吉男
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松川洋平;春本高志;村石信二;史蹟;中村吉男
