Adsorption and Desorption of Hydrogen on Si(100) in H_2 or Ar Heat Treatment
Adsorption and Desorption of Hydrogen on Si(100) in H_2 or Ar Heat Treatment
复制标题
H_2或Ar热处理中氢在Si(100)上的吸附与脱附
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J.Murota
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A.Uto、M.Sakuraba、M.Caymax;J.Murota
