分子線エピタキシによるSiC/Si多層薄膜構造の創成と応用

分子線エピタキシによるSiC/Si多層薄膜構造の創成と応用
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分子束外延SiC/Si多层薄膜结构的制备及应用

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
精密工学会2005年度春季大会学術講演論文集 2005
影响因子:
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通讯作者:
角田陽
角田陽
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
土井光人;諸貫信行;角田陽

文献摘要

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