Ti-Mo-N膜の摩耗特性に及ぼす窒素濃度依存性に関する熱力学的な検討
Ti-Mo-N膜の摩耗特性に及ぼす窒素濃度依存性に関する熱力学的な検討
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Ti-Mo-N薄膜磨损特性氮浓度依赖性热力学研究
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
及川勝成
中科院分区：
文献类型：
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作者：
須藤祐司;小宮山翔子;小池淳一;及川勝成
