Nanocolumns of InGaN/GaN MQWs Fabricated by Neutral Beam Etching for Directional Micro-LEDs
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用于定向 Micro-LED 的中性束蚀刻制造的 InGaN/GaN MQW 纳米柱
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kexiong Zhang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kexiong Zhang;Masatomo Sumiya;Meiyong Liao;Yasuo Koide;Liwen Sang;Kexiong Zhang;Kexiong Zhang
