Gas-phase Diagnoses in Catalytic Chemical Vapor Deposition (Hot-Wire CVD) Processes
Gas-phase Diagnoses in Catalytic Chemical Vapor Deposition (Hot-Wire CVD) Processes
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催化化学气相沉积（热丝 CVD）工艺中的气相诊断
DOI：
10.1016/j.tsf.2014.10.014
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
H. Umemoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Umemoto;A. Miyata;and T. Nojima;H. Umemoto
