ディップペンナノリソグラフィーを用いたカーボンナノチューブ配線の作製法の開拓
ディップペンナノリソグラフィーを用いたカーボンナノチューブ配線の作製法の開拓
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开发一种使用浸笔纳米光刻制造碳纳米管互连的方法
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中嶋直敏
中科院分区：
文献类型：
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作者：
家弓尚子;藤ヶ谷剛彦;中嶋直敏
