Characterization of defects for effective gettering in silicon wafer and polysilicon thin films
Characterization of defects for effective gettering in silicon wafer and polysilicon thin films
复制标题
硅片和多晶硅薄膜中有效吸杂缺陷的表征
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Dan O.Macodiyo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Dan O.Macodiyo;H.Soyama;K.Hayashi;Dan O.Macodiyo
