ヘリウムイオン顕微鏡でのナノポア形成における加工前処理条件の検討
ヘリウムイオン顕微鏡でのナノポア形成における加工前処理条件の検討
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使用氦离子显微镜检查纳米孔形成的预处理条件
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
杉田祥吾，野田晃平，有馬健太，山村和也，川合健太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yamashita Naoki;Park Seongsu;Kawai Kentaro;Hirai Yoshikazu;Tsuchiya Toshiyuki;Tabata Osamu;杉田祥吾，野田晃平，有馬健太，山村和也，川合健太郎
