差動排気型2元同時成膜装置により作製したCrAlN/酸化物ナノコンポジット膜の微細構造
差動排気型2元同時成膜装置により作製したCrAlN/酸化物ナノコンポジット膜の微細構造
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采用差动泵双组分沉积系统制备 CrAlN/氧化物纳米复合薄膜的微观结构
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他4名
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高畠浩史,野瀬正照,松田健二;他4名
