Energy and Exergy Analysis of Atomic Layer Deposition of Al2O3 Nano-film Process
Energy and Exergy Analysis of Atomic Layer Deposition of Al2O3 Nano-film Process
复制标题
Al2O3 纳米薄膜原子层沉积过程的能量和火用分析
DOI：
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发表时间：
2014
影响因子：
1.3
通讯作者：
Chris yuan
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tao Li;Fenfen Wang;Hong-chao Zhang;Chris yuan
